資源庫(kù) / 3月29日消息，香港中文大學(xué)的研究人員現(xiàn)已開(kāi)發(fā)出一種基于數(shù)字全息術(shù)的 TPL（雙光子光刻）平臺(tái)，該平臺(tái)能夠以2,000,000體素/秒的速度并行打印具有90nm分辨率的復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)。

新的TPL平臺(tái)采用飛秒 (fs) 再生激光放大器，支持并行寫(xiě)入多達(dá)2000個(gè)全息圖生成的激光焦點(diǎn)。所有激光焦點(diǎn)都可以根據(jù)振幅、相位和位置進(jìn)行單獨(dú)控制。研究人員開(kāi)發(fā)了一種定制光刻膠以與超高峰值功率光源配合使用。

資源庫(kù) / 3月29日消息，香港中文大學(xué)的研究人員現(xiàn)已開(kāi)發(fā)出一種基于數(shù)字全息術(shù)的 TPL（雙光子光刻）平臺(tái)，該平臺(tái)能夠以2,000,000體素/秒的速度并行打印具有90nm分辨率的復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)。

新的TPL平臺(tái)采用飛秒 (fs) 再生激光放大器，支持并行寫(xiě)入多達(dá)2000個(gè)全息圖生成的激光焦點(diǎn)。所有激光焦點(diǎn)都可以根據(jù)振幅、相位和位置進(jìn)行單獨(dú)控制。研究人員開(kāi)發(fā)了一種定制光刻膠以與超高峰值功率光源配合使用。